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產(chǎn)品詳細頁
殘余氣體分析儀

殘余氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號:MICROPOLE系統(tǒng)
  • 更新時間:2024-03-19
  • 產(chǎn)品介紹:微型殘余氣體分析儀是一種較小的質(zhì)量能譜儀分析系統(tǒng)。通過享有的小型化設(shè)計將四電極質(zhì)量過濾器進行排列,從而獲得了緊湊尺寸。這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度。
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產(chǎn)品介紹

特征

  • 較為緊湊的安裝尺寸和較輕的重量

與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比,尺寸較小,這使它容易整合到您的系統(tǒng)之中。

  • 高性能

在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里,微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。

  • 高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10-3mbar)的壓力條件下使用,在許多需要昂貴真空泵的應(yīng)用當中,可以簡化或者省略泵的使用。

  • 已經(jīng)校準過的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進行過預調(diào)諧和校準。允許客戶自己在現(xiàn)場進行傳感器的更換。

  • 網(wǎng)絡(luò)傳感器

升級到八電極后,可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監(jiān)測。此系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進行遠程監(jiān)測。

  • 用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測氣體的部分壓力,如趨勢曲線圖,相似性曲線圖,泄露模式,條形統(tǒng)計圖,3D

  • 監(jiān)測控制

可選擇性的監(jiān)測控制器可以安裝在反應(yīng)室的光譜發(fā)生器上,使用戶無需電腦可以監(jiān)測真空反應(yīng)室。

■測量原理

殘余氣體分析儀是由一個離子源,一個質(zhì)量分光儀和一個監(jiān)測單元組成。當殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后,它將被離子化。并且,這些因此產(chǎn)生的離子會加速會合到質(zhì)量能譜儀上。在質(zhì)量能譜儀上內(nèi),直流和交流電壓被應(yīng)用到四個圓柱形的電極上(方形排列),從而讓離子因質(zhì)量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發(fā)現(xiàn)。這種離子電流是與殘余氣體的質(zhì)量成比例的。       

 

         

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